的重要利用于焊接、不锈钢造作、冶炼，还用于半导体造作工艺中的化学气相淀积、晶体成长、热氧化、表延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP，气相色谱仪等仪器的载气，尺度气、平衡气、零点气等。
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